蚀刻剂组合物和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380042663.7

申请日：

2023-05-25

公开(公告)号：

CN119256120A

公开(公告)日：

2025-01-03

发明(设计)人：

梁正烈洪亨杓余珠姬洪性辰金元来

申请人：

恩特格里斯公司

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

C23F1/26

IPC分类号：

C23F1/38 C23F11/14 C23F11/173 C09K13/00

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

李婷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/26申请日:20230525
2025-01-03	公开	公开

共 50 条

[1]

氮化物蚀刻剂组合物和方法 [P].

E·洪 ;

洪性辰 ;

金元来 ;

梁正烈 ;

蔡升贤 ;

余珠姬 .

美国专利 :CN116096837B ,2025-05-13

[2]

蚀刻剂组合物和方法 [P].

R·J·杜兰特 ;

李承璡 ;

T·P·塔法诺 ;

朴英哲 ;

李俊雨 ;

李承傭 ;

李鉉奎 ;

李喻珍 ;

S·H·张 .

中国专利 :CN102395708A ,2012-03-28

[3]

蚀刻剂组合物和使用蚀刻剂组合物的金属图案的制造方法 [P].

朴种熙 ;

金基泰 ;

金真锡 ;

金奎布 ;

申贤哲 ;

李大雨 ;

李相赫 .

中国专利 :CN110387545B ,2019-10-29

[4]

蚀刻剂组合物和使用该蚀刻剂组合物制造显示设备的方法 [P].

朴种熙 ;

金眞锡 ;

权五柄 ;

南基龙 ;

尹暎晋 ;

李昔准 ;

李原昊 .

中国专利 :CN113981448A ,2022-01-28

[5]

蚀刻剂组合物 [P].

刘仁浩 ;

鞠仁说 ;

南基龙 ;

朴英哲 ;

尹暎晋 ;

李昔准 .

中国专利 :CN104250814A ,2014-12-31

[6]

蚀刻剂组合物 [P].

安吉拉·海克 ;

王洪志 ;

大卫·罗 .

中国专利 :CN112385019A ,2021-02-19

[7]

蚀刻剂组合物 [P].

安吉拉·海克 ;

王洪志 ;

大卫·罗 .

:CN112385019B ,2025-04-29

[8]

蚀刻剂组合物和使用该蚀刻剂组合物制造显示装置的方法 [P].

朴种熙 ;

金真锡 ;

李凤源 ;

金基泰 ;

金奎佈 ;

申贤哲 ;

李大雨 ;

李秉雄 ;

李相赫 .

中国专利 :CN109811344B ,2019-05-28

[9]

蚀刻剂组合物以及使用蚀刻剂组合物制造金属图案和阵列衬底的方法 [P].

金俸均 ;

金镇奭 ;

沈承辅 ;

崔新革 ;

金承熙 ;

李栋熙 ;

金奎佈 ;

申贤哲 ;

李大雨 ;

李秉雄 ;

李相赫 .

中国专利 :CN111270236A ,2020-06-12

[10]

湿法蚀刻剂组合物 [P].

南场哲 ;

丸山岳人 ;

阿部久起 ;

青山哲男 .

中国专利 :CN1397090A ,2003-02-12

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