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一种芯片加工设备及芯片加工方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411398331.5
申请日：
2024-10-09
公开(公告)号：
CN119252794A
公开(公告)日：
2025-01-03
发明(设计)人：
王克
申请人：
深圳市汇元电气技术有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区新安街道海旺社区兴业路1100号金利通金融中心大厦2栋2101
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/67
H01L21/304
B28D1/14
B28D7/04
代理机构：
北京国科力为专利代理事务所(普通合伙) 16056
代理人：
邓利钢
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20241009 |
| 2025-07-11 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):H01L 21/687申请公布日:20250103 |
| 2025-01-03 | 公开 | 公开 |