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一种晶圆拾取治具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323437809.4
申请日：
2023-12-15
公开(公告)号：
CN222168336U
公开(公告)日：
2024-12-13
发明(设计)人：
涂必胜
申请人：
上海隽工自动化科技有限公司
申请人地址：
201619 上海市松江区洞泾镇振业路280号4幢5楼507室
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/66
H01L21/68
H01L21/683
代理机构：
上海中外企专利代理事务所(特殊普通合伙) 31387
代理人：
陆晨
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-13 | 授权 | 授权 |