一种砷化镓晶片的清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411088954.2

申请日：

2024-08-09

公开(公告)号：

CN119230384A

公开(公告)日：

2024-12-31

发明(设计)人：

吴倩周铁军毕宏岩马金峰

申请人：

广东先导微电子科技有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

B08B3/04 B08B3/08 B08B11/00

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

许羽冬

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20240809
2024-12-31	公开	公开

共 50 条

[1]

一种砷化镓晶片清洗方法 [P].

徐永宽 ;

杨洪星 ;

刘春香 ;

吕菲 .

中国专利 :CN1787178A ,2006-06-14

[2]

切割砷化镓初始晶片的方法及制备砷化镓晶片的方法 [P].

刘丽杰 ;

洪庆福 ;

赵波 ;

王元立 ;

刘文森 .

中国专利 :CN105082376A ,2015-11-25

[3]

一种砷化镓晶片表面清洗装置 [P].

吕利宁 ;

粟誉 ;

蒙泽志 ;

代晓波 ;

彭春文 ;

彭海松 .

中国专利 :CN222980459U ,2025-06-13

[4]

一种砷化镓晶片表面清洗工装 [P].

卜俊鹏 .

中国专利 :CN213826085U ,2021-07-30

[5]

一种砷化镓晶片表面清洗工装 [P].

袁宁 ;

张双双 ;

华平壤 .

中国专利 :CN216460459U ,2022-05-10

[6]

一种砷化镓晶片及其制备方法 [P].

任殿胜 ;

刘宇 ;

朱颂义 .

中国专利 :CN113659017A ,2021-11-16

[7]

一种砷化镓晶片及其制备方法 [P].

任殿胜 ;

刘宇 ;

朱颂义 .

中国专利 :CN113659017B ,2024-03-26

[8]

一种砷化镓晶片的清洗方法及其清洗辅助装置 [P].

吴瑶 ;

曾贵州 ;

王金灵 ;

周铁军 .

中国专利 :CN115020197A ,2022-09-06

[9]

砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

于会永 ;

冯佳峰 ;

王文昌 ;

赵春峰 ;

袁韶阳 ;

荆爱明 ;

穆成锋 ;

张军军 .

中国专利 :CN209205897U ,2019-08-06

[10]

一种砷化镓晶体的退火方法及得到的砷化镓晶片 [P].

朱铁军 ;

谈笑天 ;

肖亚东 .

中国专利 :CN109112637A ,2019-01-01

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