一种砷化镓晶片的清洗方法及其清洗辅助装置

被引：0

申请号：

CN202210672659.6

申请日：

2022-06-14

公开(公告)号：

CN115020197A

公开(公告)日：

2022-09-06

发明(设计)人：

吴瑶曾贵州王金灵周铁军

申请人：

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

王泽高

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-06	公开	公开
2022-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20220614

共 50 条

[1]

一种砷化镓晶片清洗方法 [P].

徐永宽 ;

杨洪星 ;

刘春香 ;

吕菲 .

中国专利 :CN1787178A ,2006-06-14

[2]

激光器用砷化镓偏角度为15°晶片的清洗方法 [P].

杨春柳 ;

鲁闻华 ;

李有云 ;

刘汉保 ;

韦华 ;

牛应硕 ;

杨杰 .

中国专利 :CN115608694A ,2023-01-17

[3]

一种砷化镓晶片的清洗方法 [P].

吴倩 ;

周铁军 ;

毕宏岩 ;

马金峰 .

中国专利 :CN119230384A ,2024-12-31

[4]

一种砷化镓晶片表面清洗工装 [P].

卜俊鹏 .

中国专利 :CN213826085U ,2021-07-30

[5]

一种砷化镓晶片表面清洗装置 [P].

吕利宁 ;

粟誉 ;

蒙泽志 ;

代晓波 ;

彭春文 ;

彭海松 .

中国专利 :CN222980459U ,2025-06-13

[6]

砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

于会永 ;

冯佳峰 ;

王文昌 ;

赵春峰 ;

袁韶阳 ;

荆爱明 ;

穆成锋 ;

张军军 .

中国专利 :CN209205897U ,2019-08-06

[7]

一种砷化镓单晶片清洗的方法 [P].

杨艺 ;

曹志颖 .

中国专利 :CN106000977A ,2016-10-12

[8]

一种砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

郭辉 ;

刘欣 ;

蔡祗首 ;

杨涛 .

中国专利 :CN214488097U ,2021-10-26

[9]

一种砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

徐海洋 .

中国专利 :CN216026902U ,2022-03-15

[10]

一种砷化镓晶片片盒清洗装置 [P].

彭怀忠 ;

樊海强 ;

曲元瑗 ;

王鼎 .

中国专利 :CN213915368U ,2021-08-10

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