由双重固化剂形成的抛光垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411007709.4

申请日：

2024-07-25

公开(公告)号：

CN119458141A

公开(公告)日：

2025-02-18

发明(设计)人：

叶逢蓟

申请人：

杜邦电子材料控股股份有限公司

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

B24B37/24

IPC分类号：

B24B37/26

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈哲锋;乐洪咏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-18	公开	公开

共 50 条

[1]

采用多胺及环己烷二甲醇固化剂的抛光垫 [P].

马锐 ;

富琳 ;

蔡晨智 ;

J.李 ;

S.布罗斯南 .

中国专利 :CN114450127A ,2022-05-06

[2]

采用多胺及环己烷二甲醇固化剂的抛光垫 [P].

马锐 ;

富琳 ;

蔡晨智 ;

J.李 ;

S.布罗斯南 .

美国专利 :CN114450127B ,2024-05-28

[3]

得自含胺引发的多元醇的固化剂的高去除速率化学机械抛光垫 [P].

B·钱 ;

K-A·K·雷迪 ;

G·C·雅各布 ;

M·W·德格鲁特 .

中国专利 :CN109867764A ,2019-06-11

[4]

具有终点检测窗口的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

M·德格鲁特 .

中国专利 :CN104942701B ,2015-09-30

[5]

具有抛光层和窗口的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

M·W·德格鲁特 ;

J·穆奈恩 ;

A·雷珀 ;

M·詹森 ;

J·J·亨道恩 ;

J·G·诺兰 ;

D·B·詹姆斯 ;

叶逢蓟 .

中国专利 :CN104942702A ,2015-09-30

[6]

化学机械抛光垫的聚氨酯抛光层及其制备方法和应用、抛光垫 [P].

罗建勋 ;

王凯 ;

田骐源 ;

方璞 .

中国专利 :CN119039558A ,2024-11-29

[7]

柔软且可修整的化学机械窗口抛光垫 [P].

B·钱 ;

M·K·詹森 ;

M·W·迪格鲁特 ;

A·雷珀 ;

J·穆奈恩 ;

J·J·亨道恩 ;

J·G·诺兰 ;

D·B·詹姆斯 ;

叶逢蓟 .

中国专利 :CN104209853A ,2014-12-17

[8]

具有端点检测窗的化学机械抛光垫 [P].

B·钱 ;

M·W·德格鲁特 .

中国专利 :CN105014527A ,2015-11-04

[9]

具有窗口的软性且可修整的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

M·W·德格鲁特 ;

M·K·詹森 ;

J·穆奈恩 ;

J·J·亨道恩 ;

J·G·诺兰 ;

D·B·詹姆斯 ;

叶逢蓟 .

中国专利 :CN104942700A ,2015-09-30

[10]

具有清晰端点检测窗的化学机械抛光垫 [P].

B·钱 ;

M·W·格鲁特 .

中国专利 :CN105033841A ,2015-11-11

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