得自含胺引发的多元醇的固化剂的高去除速率化学机械抛光垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811387726.X

申请日：

2018-11-20

公开(公告)号：

CN109867764A

公开(公告)日：

2019-06-11

发明(设计)人：

B·钱 K-A·K·雷迪 G·C·雅各布 M·W·德格鲁特

申请人：

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

C08G1866

IPC分类号：

C08G1832 C08G1810 B24B3724 B24D1800

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈哲锋;胡嘉倩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C08G 18/66 申请日:20181120
2021-11-23	授权	授权
2019-06-11	公开	公开

共 50 条

[1]

去除速率和平坦化改善的化学机械抛光垫 [P].

J·G·韦斯 ;

邱南荣 ;

G·C·雅各布 ;

钱百年 .

中国专利 :CN108994722A ,2018-12-14

[2]

用于眼科抛光的高去除速率化学机械抛光 [P].

P·布尚 ;

D·谢泼德 ;

A·桑卡兰 .

美国专利 :CN119013362A ,2024-11-22

[3]

柔软可修整的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

D·B·詹姆斯 ;

J·穆奈恩 ;

叶逢蓟 ;

M·德格鲁特 .

中国专利 :CN103802018A ,2014-05-21

[4]

化学机械抛光垫的抛光层 [P].

朱顺全 ;

罗乙杰 ;

刘敏 .

中国专利 :CN107457716B ,2017-12-12

[5]

具有终点检测窗口的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

M·德格鲁特 .

中国专利 :CN104942701B ,2015-09-30

[6]

具有抛光层和窗口的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

M·W·德格鲁特 ;

J·穆奈恩 ;

A·雷珀 ;

M·詹森 ;

J·J·亨道恩 ;

J·G·诺兰 ;

D·B·詹姆斯 ;

叶逢蓟 .

中国专利 :CN104942702A ,2015-09-30

[7]

化学机械抛光垫的抛光层的制备方法和化学机械抛光垫 [P].

梅英杰 ;

鲁航 ;

王凯 ;

田骐源 ;

袁文杰 ;

高彦升 ;

闫晨凯 .

中国专利 :CN118721051B ,2025-08-29

[8]

化学机械抛光垫的抛光层的制备方法和化学机械抛光垫 [P].

梅英杰 ;

鲁航 ;

王凯 ;

田骐源 ;

袁文杰 ;

高彦升 ;

闫晨凯 .

中国专利 :CN118721051A ,2024-10-01

[9]

由双重固化剂形成的抛光垫 [P].

叶逢蓟 .

美国专利 :CN119458141A ,2025-02-18

[10]

用于化学机械抛光垫的改进组合物以及由其制备的CMP垫 [P].

B·E·巴尔顿 ;

M·E·米尔斯 .

中国专利 :CN108115554B ,2018-06-05

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