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激光加工装置及激光加工方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080064112.7
申请日：
2020-09-09
公开(公告)号：
CN114401811B
公开(公告)日：
2025-02-18
发明(设计)人：
荻原孝文
伊崎泰则
申请人：
浜松光子学株式会社
申请人地址：
日本静冈县
IPC主分类号：
B23K26/067
IPC分类号：
H01L21/301
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
杨琦
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-18 | 授权 | 授权 |