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激光加工装置及激光加工方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280040598.X
申请日：
2022-06-28
公开(公告)号：
CN117425539A
公开(公告)日：
2024-01-19
发明(设计)人：
坂本刚志
申请人：
浜松光子学株式会社
申请人地址：
日本静冈县
IPC主分类号：
B23K26/53
IPC分类号：
H01L21/304
H01L21/301
B23K26/064
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
杨琦
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-19 | 公开 | 公开 |
| 2024-02-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B23K 26/53申请日:20220628 |