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激光加工装置及激光加工方法
被引：0
申请号：
CN202080077494.7
申请日：
2020-11-20
公开(公告)号：
CN114730708A
公开(公告)日：
2022-07-08
发明(设计)人：
和仁阳太郎
伊崎泰则
申请人：
申请人地址：
日本静冈县
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
杨琦;梁策
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-08 | 公开 | 公开 |
| 2022-07-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20201120 |