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穿硅通孔制造
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010170957.6
申请日：
2020-03-12
公开(公告)号：
CN111933575B
公开(公告)日：
2025-02-14
发明(设计)人：
罗伯特·爱德华·西嘉石
索恩·泰·陆
埃利尼塔·马拉斯马斯·占旺萨克
申请人：
霍尼韦尔国际公司
申请人地址：
美国新泽西州
IPC主分类号：
H01L21/768
IPC分类号：
H01L23/48
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
刘桢;刘茜
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-14 | 授权 | 授权 |