晶圆减薄设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411843413.6

申请日：

2024-12-14

公开(公告)号：

CN119369252A

公开(公告)日：

2025-01-28

发明(设计)人：

韩理文付永旭马旭刘远航路新春

申请人：

华海清科股份有限公司华海清科（北京）科技有限公司

申请人地址：

300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号

IPC主分类号：

B24B27/00

IPC分类号：

B24B19/22 B24B29/02 B24B41/02 B24B41/04 B24B47/12 B24B41/00 B24B55/06

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 27/00申请日:20241214
2025-01-28	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆减薄设备和减薄方法 [P].

张力飞 ;

路新春 ;

谢昊男 .

中国专利 :CN121004512A ,2025-11-25

[2]

晶圆减薄设备和减薄方法 [P].

张力飞 ;

赵德文 ;

邢一 ;

路新春 .

中国专利 :CN121018323A ,2025-11-28

[3]

晶圆减薄设备和减薄方法 [P].

张力飞 ;

路新春 ;

邢一 ;

赵德文 .

中国专利 :CN121004513A ,2025-11-25

[4]

晶圆减薄设备和减薄方法 [P].

张力飞 ;

路新春 ;

谢昊男 .

中国专利 :CN121018324A ,2025-11-28

[5]

用于晶圆减薄设备的搬运系统、方法、装置及晶圆减薄设备 [P].

路新春 ;

赵德文 ;

刘远航 ;

靳凯强 ;

马帅 .

中国专利 :CN118305669A ,2024-07-09

[6]

回转传动系统、晶圆减薄机及其控制方法 [P].

韩理文 ;

付永旭 ;

马旭 ;

刘远航 ;

路新春 .

中国专利 :CN119304714A ,2025-01-14

[7]

晶圆减薄装置及系统 [P].

王飞 ;

于志强 ;

汪洋 .

中国专利 :CN223700274U ,2025-12-23

[8]

用于晶圆加工的吸附装置、晶圆磨削装置及晶圆减薄设备 [P].

路新春 ;

赵德文 ;

刘远航 ;

陈超 ;

赵四化 .

中国专利 :CN222874233U ,2025-05-16

[9]

一种晶圆减薄装置 [P].

龚胜 ;

杨宏亮 ;

胡天 ;

陈逢军 .

中国专利 :CN119609910A ,2025-03-14

[10]

用于晶圆磨削后的处理装置、方法和晶圆减薄设备 [P].

许刚 ;

马旭 ;

刘远航 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN118617224A ,2024-09-10

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