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一种用于集成光电子器件的表面缺陷检测装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210820595.X
申请日：
2022-07-13
公开(公告)号：
CN115372364B
公开(公告)日：
2025-02-14
发明(设计)人：
庄礼杰
申请人：
厦门市光飞扬通信技术有限公司
申请人地址：
361000 福建省厦门市湖里区港中路1744号501单元
IPC主分类号：
G01N21/88
IPC分类号：
G01N21/15
代理机构：
泉州企记知识产权代理事务所(普通合伙) 35264
代理人：
张柳
法律状态：
授权
国省代码：
福建省
厦门市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-14 | 授权 | 授权 |