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一种用于集成光电子器件表面缺陷检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020483039.4
申请日：
2020-04-03
公开(公告)号：
CN212364111U
公开(公告)日：
2021-01-15
发明(设计)人：
熊明存
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山玉山镇柏芦中路401号5B-004室
IPC主分类号：
G01N2188
IPC分类号：
G01N2101
代理机构：
苏州国卓知识产权代理有限公司 32331
代理人：
周鑫
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-15 | 授权 | 授权 |