一种晶圆传输装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420944925.0

申请日：

2024-04-30

公开(公告)号：

CN222421923U

公开(公告)日：

2025-01-28

发明(设计)人：

倪萌陈垒周倾貌秦承伟吴沃祖

申请人：

上海大族富创得科技股份有限公司

申请人地址：

201112 上海市闵行区万芳路555号1幢1层102室、2层202室

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385

代理人：

张浪

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置 [P].

叶莹 ;

张庆 ;

鲍伟成 ;

王文广 ;

祝佳辉 ;

梁烁 ;

王旭晨 ;

张冬峰 .

中国专利 :CN115527899A ,2022-12-27

[2]

一种晶圆传输装置 [P].

王世举 ;

何超 .

中国专利 :CN120413491A ,2025-08-01

[3]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363A ,2021-07-16

[4]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363B ,2025-09-26

[5]

一种晶圆传输方法及晶圆前端传输装置 [P].

孟亚东 ;

陆洪春 ;

王道广 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117476523B ,2024-06-14

[6]

一种晶圆传输方法及晶圆前端传输装置 [P].

孟亚东 ;

陆洪春 ;

王道广 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117476523A ,2024-01-30

[7]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004A ,2021-09-24

[8]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004B ,2024-02-27

[9]

一种晶圆传输装置 [P].

吴春 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

张胜森 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117410213B ,2024-03-22

[10]

一种晶圆传输装置 [P].

罗银夫 ;

刘二壮 ;

黄允文 ;

刘枫 ;

刘涛 ;

蔡斌 .

中国专利 :CN114597149A ,2022-06-07

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