喷淋板及薄膜沉积设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411597775.1

申请日：

2024-11-08

公开(公告)号：

CN119433509A

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

安光辉栾婉莹王卓费腾

申请人：

拓荆科技股份有限公司

申请人地址：

110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/52

代理机构：

深圳市精英创新知识产权代理有限公司 44740

代理人：

林燕云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

辽宁省沈阳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/455申请日:20241108
2025-02-14	公开	公开

共 50 条

[1]

喷淋板及薄膜沉积设备 [P].

顾颜俣 ;

周巨涛 ;

费腾 .

中国专利 :CN119082707A ,2024-12-06

[2]

喷淋板及薄膜沉积设备 [P].

顾颜俣 ;

周巨涛 ;

费腾 .

中国专利 :CN223357746U ,2025-09-19

[3]

喷淋板组件及薄膜沉积设备 [P].

魏薇 ;

张赛谦 ;

王婷 ;

刘肖朦 .

中国专利 :CN117127171B ,2025-04-04

[4]

喷淋板、气体输送系统及薄膜沉积设备 [P].

赵郁晗 ;

冯嘉恒 ;

刘英明 ;

卜夺夺 .

中国专利 :CN119392219A ,2025-02-07

[5]

一种喷淋板及薄膜沉积设备 [P].

张闯闯 ;

吴凤丽 ;

崔雨 .

中国专利 :CN221940614U ,2024-11-01

[6]

一种喷淋板及薄膜沉积设备 [P].

孙少东 .

中国专利 :CN121087462A ,2025-12-09

[7]

一种喷淋板组件及薄膜沉积设备 [P].

董文惠 .

中国专利 :CN223292638U ,2025-09-02

[8]

喷淋结构及薄膜沉积设备 [P].

朱鹤囡 ;

董雪迪 ;

林佳继 .

中国专利 :CN117702087A ,2024-03-15

[9]

喷淋装置、反应腔室及薄膜沉积设备 [P].

黄明策 ;

野沢俊久 .

中国专利 :CN118726947A ,2024-10-01

[10]

一种喷淋装置及薄膜沉积设备 [P].

魏薇 ;

张赛谦 ;

沈丰慧 ;

齐佳美 ;

褚鑫辉 .

中国专利 :CN223607361U ,2025-11-28

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