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喷淋板、气体输送系统及薄膜沉积设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411806808.9
申请日：
2024-12-09
公开(公告)号：
CN119392219A
公开(公告)日：
2025-02-07
发明(设计)人：
赵郁晗
冯嘉恒
刘英明
卜夺夺
申请人：
拓荆科技（上海）有限公司
申请人地址：
201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室
IPC主分类号：
C23C16/455
IPC分类号：
C23C16/52
H01L21/67
代理机构：
深圳市精英创新知识产权代理有限公司 44740
代理人：
林燕云
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-07 | 公开 | 公开 |
| 2025-02-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/455申请日:20241209 |