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一种喷淋板及薄膜沉积设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511250517.0
申请日：
2025-09-02
公开(公告)号：
CN121087462A
公开(公告)日：
2025-12-09
发明(设计)人：
孙少东
申请人：
拓荆科技股份有限公司
申请人地址：
110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
IPC主分类号：
C23C16/455
IPC分类号：
C23C16/48
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
徐迪
法律状态：
公开
国省代码：
辽宁省 沈阳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-09 公开 公开
2025-12-26 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/455申请日:20250902
共 50 条
[1]
喷淋板及薄膜沉积设备 [P]. 
顾颜俣 ;
周巨涛 ;
费腾 .
中国专利 :CN119082707A ,2024-12-06
[2]
喷淋板及薄膜沉积设备 [P]. 
安光辉 ;
栾婉莹 ;
王卓 ;
费腾 .
中国专利 :CN119433509A ,2025-02-14
[3]
喷淋板及薄膜沉积设备 [P]. 
顾颜俣 ;
周巨涛 ;
费腾 .
中国专利 :CN223357746U ,2025-09-19
[4]
一种喷淋板及薄膜沉积设备 [P]. 
张闯闯 ;
吴凤丽 ;
崔雨 .
中国专利 :CN221940614U ,2024-11-01
[5]
喷淋板组件及薄膜沉积设备 [P]. 
魏薇 ;
张赛谦 ;
王婷 ;
刘肖朦 .
中国专利 :CN117127171B ,2025-04-04
[6]
一种喷淋板组件及薄膜沉积设备 [P]. 
董文惠 .
中国专利 :CN223292638U ,2025-09-02
[7]
喷淋板、气体输送系统及薄膜沉积设备 [P]. 
赵郁晗 ;
冯嘉恒 ;
刘英明 ;
卜夺夺 .
中国专利 :CN119392219A ,2025-02-07
[8]
一种喷淋装置及薄膜沉积设备 [P]. 
魏薇 ;
张赛谦 ;
沈丰慧 ;
齐佳美 ;
褚鑫辉 .
中国专利 :CN223607361U ,2025-11-28
[9]
喷淋结构及薄膜沉积设备 [P]. 
朱鹤囡 ;
董雪迪 ;
林佳继 .
中国专利 :CN117702087A ,2024-03-15
[10]
一种喷淋装置及薄膜沉积设备 [P]. 
张银 .
中国专利 :CN120591756A ,2025-09-05
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