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分子束外延设备的外延生长室结构

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411675708.7
申请日：
2024-11-22
公开(公告)号：
CN119433697A
公开(公告)日：
2025-02-14
发明(设计)人：
梁枫 张冬 马志博
申请人：
合肥华杨科学仪器有限公司
申请人地址：
230031 安徽省合肥市高新区望江西路900号中安创谷科技园A3A4栋7楼779室
IPC主分类号：
C30B25/08
IPC分类号：
C30B23/02 C23C16/44 C23C14/56
代理机构：
北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264
代理人：
赵立萍
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-04 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/08申请日:20241122
2025-02-14 公开 公开
2025-12-30 发明专利申请公布后的撤回 发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):C30B 25/08申请公布日:20250214
共 50 条
[1]
分子束外延生长设备蒸发部件 [P]. 
董国材 ;
张祥 ;
梁枫 .
中国专利 :CN306130131S ,2020-10-27
[2]
分子束外延设备的样品台及分子束外延设备 [P]. 
楼厦 ;
倪健 ;
赵金堂 .
中国专利 :CN120425453A ,2025-08-05
[3]
分子束外延设备的样品台及分子束外延设备 [P]. 
楼厦 ;
倪健 ;
赵金堂 .
中国专利 :CN120425453B ,2025-12-26
[4]
一种分子束外延设备生长室组件 [P]. 
徐马记 ;
王威 ;
徐豪 ;
胡韵爽 ;
贺慧婷 .
中国专利 :CN118180074A ,2024-06-14
[5]
一种分子束外延设备生长室组件 [P]. 
徐马记 ;
王威 ;
徐豪 ;
胡韵爽 ;
贺慧婷 .
中国专利 :CN118180074B ,2025-08-12
[6]
分子束外延设备 [P]. 
楼厦 ;
薛聪 ;
倪健 .
中国专利 :CN220746138U ,2024-04-09
[7]
分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P]. 
彭长四 ;
周均铭 ;
倪健 .
中国专利 :CN220867575U ,2024-04-30
[8]
分子束外延设备及分子束外延设备的控制方法 [P]. 
彭长四 ;
周均铭 ;
杨晓楠 ;
倪健 .
中国专利 :CN117403323A ,2024-01-16
[9]
分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P]. 
彭长四 ;
周均铭 ;
倪健 .
中国专利 :CN220788877U ,2024-04-16
[10]
分子束外延生长设备和控制它的方法 [P]. 
川崎崇士 .
中国专利 :CN1591783A ,2005-03-09
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