一种搬运装置及晶圆加工系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420880140.1

申请日：

2024-04-25

公开(公告)号：

CN222421922U

公开(公告)日：

2025-01-28

发明(设计)人：

李伟健张庆陈子秋吴伟平

申请人：

广东长信精密设备有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/683 H01L21/67

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

胡献礼

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆搬运装置及晶圆传送系统 [P].

谢光训 .

中国专利 :CN221613853U ,2024-08-27

[2]

一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备 [P].

曾凡贵 .

中国专利 :CN217359573U ,2022-09-02

[3]

晶圆加工系统及晶圆加工方法 [P].

刘洋 ;

江腾升 ;

张志强 .

中国专利 :CN113192859A ,2021-07-30

[4]

晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

吴天尧 ;

王昊 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN113628994B ,2024-09-17

[5]

晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

吴天尧 ;

王昊 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN113628994A ,2021-11-09

[6]

晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

吴天尧 ;

王昊 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN113611646A ,2021-11-05

[7]

晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

吴天尧 ;

王昊 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN113611646B ,2024-04-16

[8]

一种晶圆搬运装置及晶圆上下料设备 [P].

唐仁伟 ;

廉哲 ;

黄建军 ;

胡海洋 .

中国专利 :CN221747191U ,2024-09-20

[9]

一种晶圆搬运装置 [P].

苗涛 ;

吴天尧 ;

师海月 ;

高嘉伟 ;

陈志 .

中国专利 :CN222380563U ,2025-01-21

[10]

晶圆盒搬运装置、设备及系统 [P].

潘心宇 ;

张弢 ;

罗邵丹 ;

陈炜越 .

中国专利 :CN216213317U ,2022-04-05

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