共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种基于视觉对准的混合键合设备及混合键合方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411933548.1
申请日：
2024-12-26
公开(公告)号：
CN119381328A
公开(公告)日：
2025-01-28
发明(设计)人：
徐洲龙
赵新宇
丁兴兰
叶振羽
申请人：
武汉芯力科技术有限公司
申请人地址：
430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区里沟南路8号武汉智能装备园一期2楼F2A216-14
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/768
代理机构：
武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224
代理人：
李佑宏
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-17 | 授权 | 授权 |
| 2025-02-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20241226 |
| 2025-01-28 | 公开 | 公开 |