用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511714371.0

申请日：

2025-11-21

公开(公告)号：

CN121171907A

公开(公告)日：

2025-12-19

发明(设计)人：

严学文越岗许云飞程一曼杨江维

申请人：

西安邮电大学陕西西柚共创电子有限公司无锡地心科技有限公司

申请人地址：

710061 陕西省西安市雁塔区长安南路563号

IPC主分类号：

H01L21/60

IPC分类号：

H01L21/683 F16F15/067

代理机构：

合肥金安专利事务所(普通合伙企业) 34114

代理人：

徐伟

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法 [P].

胡俊 ;

管志远 ;

孙健春 .

中国专利 :CN120199709B ,2025-08-05

[2]

一种用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法 [P].

胡俊 ;

管志远 ;

孙健春 .

中国专利 :CN120199709A ,2025-06-24

[3]

混合键合方法及混合键合结构 [P].

闫国超 ;

高世龙 ;

黄晓栗 .

中国专利 :CN118969730B ,2025-03-04

[4]

混合键合方法及混合键合结构 [P].

闫国超 ;

高世龙 ;

黄晓栗 .

中国专利 :CN118969730A ,2024-11-15

[5]

混合键合结构及混合键合方法 [P].

邢程 ;

朱振华 .

中国专利 :CN114420660A ,2022-04-29

[6]

混合键合结构、其制造方法、混合键合工艺及键合设备 [P].

李云峰 ;

高智伟 ;

母凤文 ;

郭超 ;

谭向虎 ;

刘福超 .

中国专利 :CN120977982A ,2025-11-18

[7]

混合键合结构及键合方法 [P].

刘子玉 ;

李锦竹 ;

楼其村 ;

张卫 ;

孙清清 ;

陈琳 .

中国专利 :CN119905413A ,2025-04-29

[8]

混合键合结构及键合方法 [P].

刘子玉 ;

李锦竹 ;

楼其村 ;

张卫 ;

孙清清 ;

陈琳 .

中国专利 :CN119905413B ,2025-10-31

[9]

具备金属连线的混合键合方法及混合键合结构 [P].

吕震宇 ;

朱继锋 ;

李勇娜 ;

宋立东 ;

陈俊 .

中国专利 :CN107731667A ,2018-02-23

[10]

一种基于视觉对准的混合键合设备及混合键合方法 [P].

徐洲龙 ;

赵新宇 ;

丁兴兰 ;

叶振羽 .

中国专利 :CN119381328B ,2025-10-17

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