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一种用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510648263.1
申请日：
2025-05-20
公开(公告)号：
CN120199709B
公开(公告)日：
2025-08-05
发明(设计)人：
胡俊
管志远
孙健春
申请人：
杭州东途自动化技术有限公司
申请人地址：
310063 浙江省杭州市西湖区塘苗路18号2幢2201室
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
杭州浙兴专利代理事务所(普通合伙) 33639
代理人：
金杭炜
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-24 | 公开 | 公开 |
| 2025-08-05 | 授权 | 授权 |
| 2025-07-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250520 |