一种蚀刻液的蚀刻速率测试装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510053466.6

申请日：

2025-01-14

公开(公告)号：

CN119470138A

公开(公告)日：

2025-02-18

发明(设计)人：

向可阳邱双亮

申请人：

深圳晶恒宇环境科技有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区建安路22号中创汇科技创新园3栋厂房101

IPC主分类号：

G01N5/04

IPC分类号：

F26B21/00 B25H1/10 B25B11/00

代理机构：

深圳市联江知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44939

代理人：

旷江华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

广东省深圳市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 5/04申请日:20250114
2025-10-31	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):G01N 5/04申请公布日:20250218
2025-02-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种蚀刻液的蚀刻速率测试装置 [P].

向可阳 ;

邱双亮 .

中国专利 :CN118518530A ,2024-08-20

[2]

一种蚀刻液蚀刻速率测试装置及测试方法 [P].

郑基柱 ;

张成宇 ;

张宇峰 ;

沈剑南 ;

陈晓初 ;

沙永华 .

中国专利 :CN117388298A ,2024-01-12

[3]

一种蚀刻液蚀刻速率测试装置及测试方法 [P].

李辉 ;

申胜男 ;

于凯 ;

盛家正 .

中国专利 :CN112730146B ,2021-04-30

[4]

一种用于金属蚀刻液的蚀刻速率测试装置及检测方法 [P].

俞丞 ;

顾书春 ;

冯凯 .

中国专利 :CN121026932A ,2025-11-28

[5]

铝蚀刻液测试装置 [P].

童晨 ;

吴海燕 ;

韩成强 ;

孙元 ;

陈桂红 .

中国专利 :CN215574753U ,2022-01-18

[6]

一种蚀刻速率稳定的铜蚀刻液 [P].

李少平 ;

钟昌东 ;

郝晓斌 ;

贺兆波 ;

张演哲 ;

张庭 ;

蔡步林 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

冯凯 ;

尹印 ;

李鑫 ;

景继磊 .

中国专利 :CN111647889A ,2020-09-11

[7]

蚀刻速率测试方法 [P].

欧阳文森 ;

王胜林 .

中国专利 :CN115101436B ,2022-09-23

[8]

高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置 [P].

梁小朝 ;

连杰 ;

姚浩川 ;

黄德新 .

中国专利 :CN210787187U ,2020-06-19

[9]

高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN204369992U ,2015-06-03

[10]

一种高蚀刻速率的三元组分蚀刻液 [P].

李少平 ;

张演哲 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

蔡步林 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

冯凯 ;

尹印 .

中国专利 :CN109852969A ,2019-06-07

← 1 2 3 4 5 →