一种静电卡盘用多层陶瓷及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411692630.X

申请日：

2024-11-25

公开(公告)号：

CN119551971A

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

张昕李丙文范天扬宋运运李顺顺张霖赵延军

申请人：

郑州磨料磨具磨削研究所有限公司

申请人地址：

450001 河南省郑州市高新区梧桐街121号

IPC主分类号：

C04B35/10

IPC分类号：

C04B35/581 C04B35/505 C04B35/624 C04B41/88 H01L21/683

代理机构：

郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104

代理人：

张晓萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省南京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/10申请日:20241125
2025-03-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种静电卡盘多层共烧陶瓷盘的制备方法 [P].

石锗元 ;

李海南 ;

李君 ;

洪元杓 ;

陈振宁 ;

肖伟 .

中国专利 :CN119797899A ,2025-04-11

[2]

一种静电卡盘多层互联陶瓷盘的制备方法 [P].

石锗元 ;

李海南 ;

李君 ;

洪元杓 ;

陈振宁 ;

肖伟 .

中国专利 :CN119993894A ,2025-05-13

[3]

陶瓷及其制备方法、静电卡盘 [P].

何岳平 ;

刘锋 ;

纪文义 ;

曾昭绢 ;

彭朝阳 .

中国专利 :CN120157460A ,2025-06-17

[4]

陶瓷静电卡盘组件及其制备方法 [P].

中岛主 ;

尼尔·本杰明 .

中国专利 :CN1296983C ,2004-09-15

[5]

一种静电卡盘用氧化铝多孔陶瓷及其制备方法 [P].

罗子杰 ;

黄珂 ;

钟博 ;

张荦 .

中国专利 :CN121135469A ,2025-12-16

[6]

半导体静电卡盘用多层陶瓷基板烧结装置 [P].

朱燕娟 ;

马林 ;

严彬 .

中国专利 :CN120538308A ,2025-08-26

[7]

一种静电卡盘的制备方法 [P].

李君 ;

裘祝恒 ;

石锗元 ;

陈振宁 ;

肖伟 ;

胡淑梅 .

中国专利 :CN119489390A ,2025-02-21

[8]

陶瓷静电卡盘电极电路及其制备方法 [P].

齐龙浩 ;

叶志强 ;

韩若冰 .

中国专利 :CN120674373A ,2025-09-19

[9]

玻璃陶瓷及其制备方法与静电卡盘 [P].

梁宸 ;

李海青 ;

谭会会 ;

臧向荣 ;

刘征 ;

赵世柯 ;

蔡安富 .

中国专利 :CN115925262B ,2025-10-17

[10]

一种氮化铝陶瓷静电卡盘及其制备方法 [P].

陈庶舒 ;

李君 ;

石锗元 ;

肖伟 .

中国专利 :CN118290172A ,2024-07-05

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