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一种静电卡盘的制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411404226.8
申请日：
2024-10-10
公开(公告)号：
CN119489390A
公开(公告)日：
2025-02-21
发明(设计)人：
李君 裘祝恒 石锗元 陈振宁 肖伟 胡淑梅
申请人：
君原电子科技（海宁）有限公司
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢
IPC主分类号：
B24B27/06
IPC分类号：
C04B35/622 C04B41/88 B24B41/06 B28D1/14
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-02-21 公开 公开
2025-03-11 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 27/06申请日:20241010
共 50 条
[1]
一种静电卡盘的制造方法 [P]. 
李君 ;
石锗元 ;
陈茂雄 ;
肖伟 .
中国专利 :CN114597152A ,2022-06-07
[2]
静电卡盘及静电卡盘的制备方法 [P]. 
周山山 ;
司合帅 .
中国专利 :CN119050042A ,2024-11-29
[3]
一种静电卡盘 [P]. 
石锗元 ;
焦燕 ;
李君 .
中国专利 :CN121035037A ,2025-11-28
[4]
一种氮化铝静电卡盘的制备方法 [P]. 
石锗元 ;
李博仁 ;
李君 ;
肖伟 .
中国专利 :CN119751080A ,2025-04-04
[5]
一种静电卡盘用多层陶瓷及其制备方法 [P]. 
张昕 ;
李丙文 ;
范天扬 ;
宋运运 ;
李顺顺 ;
张霖 ;
赵延军 .
中国专利 :CN119551971A ,2025-03-04
[6]
一种静电卡盘的制备方法 [P]. 
石锗元 ;
李博仁 ;
李君 .
中国专利 :CN120886401A ,2025-11-04
[7]
一种静电卡盘的制备方法 [P]. 
石锗元 ;
裘祝恒 ;
李君 ;
洪元杓 ;
陈振宁 ;
李海南 ;
肖伟 .
中国专利 :CN119549991A ,2025-03-04
[8]
一种静电卡盘多层共烧陶瓷盘的制备方法 [P]. 
石锗元 ;
李海南 ;
李君 ;
洪元杓 ;
陈振宁 ;
肖伟 .
中国专利 :CN119797899A ,2025-04-11
[9]
一种静电卡盘及其制备方法 [P]. 
张玉利 ;
杨鹏远 ;
王建冲 ;
侯占杰 ;
王超星 ;
黎远成 ;
何宏庆 ;
樊文凤 ;
唐娜娜 .
中国专利 :CN111863693A ,2020-10-30
[10]
一种静电卡盘及其制备方法 [P]. 
李君 ;
吴振平 ;
石锗元 ;
肖伟 .
中国专利 :CN119993893A ,2025-05-13
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