电化学机械抛光控制方法及装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410697051.8
申请日
2024-05-31
公开(公告)号
CN118531488B
公开(公告)日
2025-02-21
发明(设计)人
汪以祥 廖磊华 郭称发
申请人
广州众山紧固件有限公司 广州众山精密科技有限公司
申请人地址
511338 广东省广州市增城区宁西街创强路127号技术研发中心(A-1)五楼、厂房(B-1)一楼、三楼、五楼
IPC主分类号
C25F3/16
IPC分类号
C25F7/00 B24B1/00
代理机构
广州华享智信知识产权代理事务所(普通合伙) 44576
代理人
孔德超;代春兰
法律状态
公开
国省代码
广东省 广州市
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共 50 条
[1]
电化学机械抛光控制方法及装置 [P]. 
汪以祥 ;
廖磊华 ;
郭称发 .
中国专利 :CN118531488A ,2024-08-23
[2]
电化学机械抛光装置 [P]. 
倪建明 .
中国专利 :CN105710761A ,2016-06-29
[3]
用于电化学机械抛光的抛光垫 [P]. 
李·M.·库克 ;
戴维·B.·詹姆斯 ;
约翰·V.·H·罗伯兹 .
中国专利 :CN100347825C ,2005-09-07
[4]
一种电化学机械抛光方法 [P]. 
杨亮 ;
王磊 ;
左晓磊 ;
张康 ;
李婷 .
中国专利 :CN117943966A ,2024-04-30
[5]
电化学机械抛光工艺、装置及生产线体 [P]. 
左晓磊 ;
杨亮 ;
王磊 ;
潘宏明 ;
张康 .
中国专利 :CN118848806A ,2024-10-29
[6]
用于电化学机械抛光的抛光垫 [P]. 
J·G·埃米恩 ;
D·B·詹姆斯 .
中国专利 :CN100385631C ,2005-11-30
[7]
用于电化学机械抛光的抛光垫 [P]. 
罗兰·K·塞维利亚 .
中国专利 :CN1809445A ,2006-07-26
[8]
一种电化学机械抛光装置 [P]. 
左晓磊 ;
王磊 ;
张康 ;
刘永进 ;
李婷 .
中国专利 :CN117568908A ,2024-02-20
[9]
一种电化学机械抛光装置及方法 [P]. 
梁小生 ;
彭云峰 ;
吴秀榕 ;
贺湘波 ;
万泓毅 ;
秦村 ;
彭冉 .
中国专利 :CN118143853A ,2024-06-07
[10]
一种用于电化学机械抛光的抛光吸附盘机构及电化学机械抛光系统 [P]. 
朱自强 ;
杨渊思 .
中国专利 :CN120533612A ,2025-08-26