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等离子处理设备及其等离子体约束环
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311127814.7
申请日：
2023-09-01
公开(公告)号：
CN119560359A
公开(公告)日：
2025-03-04
发明(设计)人：
张一川
范光伟
顾继强
申请人：
中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
张妍;张静洁
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-04 | 公开 | 公开 |
| 2025-03-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20230901 |