一种晶棒加工装置、晶棒加工方法及设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411858471.6

申请日：

2024-12-17

公开(公告)号：

CN119526232A

公开(公告)日：

2025-02-28

发明(设计)人：

刘文文

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司西安欣芯材料科技有限公司

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

B24B27/06

IPC分类号：

B24B41/06 B24B49/00 B24B49/12 B24B51/00 B24B47/12

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

郝宇

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-28	公开	公开
2025-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 27/06申请日:20241217

共 50 条

[1]

一种晶棒滚圆加工装置及晶棒滚圆加工方法 [P].

朱海海 .

中国专利 :CN119635518A ,2025-03-18

[2]

晶棒自动加工装置 [P].

马守林 ;

黄学宁 ;

赵常福 ;

陆锋 ;

陈立明 ;

韩文军 ;

龚佳宝 ;

李学东 .

中国专利 :CN213860079U ,2021-08-03

[3]

一种晶棒加工装置 [P].

匡怡君 .

中国专利 :CN212331467U ,2021-01-12

[4]

一种晶棒加工装置 [P].

王滔 ;

郑金龙 ;

周铁军 ;

毕宏岩 .

中国专利 :CN223172001U ,2025-08-01

[5]

一种晶圆棒加工装置 [P].

周汉知 ;

李学良 .

中国专利 :CN216329266U ,2022-04-19

[6]

一种晶棒用加工装置 [P].

章斌 ;

程龙柱 ;

沈顺华 ;

何龙海 ;

陆荣 .

中国专利 :CN211639504U ,2020-10-09

[7]

晶棒加工设备及用于该设备的主轴机构与晶棒加工方法 [P].

卢建伟 .

中国专利 :CN107283273A ,2017-10-24

[8]

一种硅晶棒切割加工装置 [P].

张永田 .

中国专利 :CN113771246A ,2021-12-10

[9]

一种蓝宝石晶棒定向、加工装置 [P].

张婉君 ;

张士祥 ;

柏文文 ;

高辉 ;

张健 ;

于国建 .

中国专利 :CN203637002U ,2014-06-11

[10]

晶圆加工方法及晶圆加工装置 [P].

高阳 ;

张宁宁 ;

葛凡 ;

周鑫 ;

蔡国庆 .

中国专利 :CN114582713A ,2022-06-03

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