钯钴氧化物薄膜、铜铁矿型氧化物薄膜、具有铜铁矿型氧化物薄膜的肖特基电极、钯钴氧化物薄膜的制备方法及铜铁矿型氧化物薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380052951.0

申请日：

2023-03-27

公开(公告)号：

CN119563044A

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

原田尚之政广泰

申请人：

国立研究开发法人物质·材料研究机构田中贵金属工业株式会社

申请人地址：

日本茨城县

IPC主分类号：

C23C14/08

IPC分类号：

C04B35/01 C23C14/34 H01L21/28 H01L21/285 H10D64/64 H10D8/60

代理机构：

北京华睿卓成知识产权代理事务所(普通合伙) 11436

代理人：

程淼;刘海

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

p型铜铁矿结构透明导电氧化物薄膜的制备方法 [P].

李达 ;

方晓东 ;

邓赞红 ;

陶汝华 ;

董伟伟 .

中国专利 :CN101215702A ,2008-07-09

[2]

氧化物薄膜 [P].

韩洙德 ;

崔元荣 .

韩国专利 :CN120113016A ,2025-06-06

[3]

金属氧化物薄膜，沉积金属氧化物薄膜的方法及包含金属氧化物薄膜的装置 [P].

一杉太郎 .

中国专利 :CN107074662B ,2017-08-18

[4]

氧化物超导薄膜材料、氧化物超导薄膜线材和氧化物超导薄膜的制造方法 [P].

元木贵则 ;

下山淳一 ;

本田元气 ;

永石龙起 .

中国专利 :CN110383398B ,2019-10-25

[5]

一种制备钴氧化物、镍氧化物、铜氧化物的方法 [P].

陈雪华 ;

刘秀庆 ;

向波 ;

徐伟 .

中国专利 :CN101367555B ,2009-02-18

[6]

一种氧化物薄膜的制备方法、氧化物薄膜及其应用 [P].

姚蕾 ;

刘国栋 ;

丁早晖 .

中国专利 :CN117364042A ,2024-01-09

[7]

钴氧化物基磁性氧化物薄膜及其制备方法和应用 [P].

金奎娟 ;

郭尔佳 ;

金桥 ;

林珊 ;

陈爽 ;

陈盛如 ;

祁明群 .

中国专利 :CN113061990A ,2021-07-02

[8]

一种氧化物薄膜衬底、氧化物薄膜及其制备方法 [P].

陈德杨 ;

尹小哲 ;

邓雄 ;

陈超 ;

孙菲 .

中国专利 :CN110408888A ,2019-11-05

[9]

氧化物烧结体、氧化物溅射靶和氧化物薄膜 [P].

奈良淳史 ;

关秀人 .

中国专利 :CN107207356B ,2017-09-26

[10]

一种金属氧化物薄膜的制备方法及金属氧化物薄膜 [P].

杨振怀 ;

郭远军 ;

卫红 ;

胡琅 ;

胡强 ;

肖永能 ;

刘宏 ;

郭可升 .

中国专利 :CN114561617A ,2022-05-31

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/08申请日:20230327
2025-03-04	公开	公开