共 50 条
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基板处理方法及基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411626931.2
申请日：
2019-09-29
公开(公告)号：
CN119517801A
公开(公告)日：
2025-02-25
发明(设计)人：
犹原英司
冲田有史
角间央章
増井达哉
申请人：
株式会社斯库林集团
申请人地址：
日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1(邮递区号:602-8585)
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/68
H01L21/677
H01L21/027
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
马雯雯;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-25 | 公开 | 公开 |
| 2025-03-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20190929 |