共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
基板处理装置及基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110153809.8
申请日：
2021-02-04
公开(公告)号：
CN113262951B
公开(公告)日：
2024-11-15
发明(设计)人：
上野幸一
申请人：
株式会社斯库林集团
申请人地址：
日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1
IPC主分类号：
B05C13/02
IPC分类号：
B05C5/02
H01L21/683
H01L21/67
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
杨贝贝;臧建明
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-15 | 授权 | 授权 |