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基板处理装置及基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110153809.8
申请日：
2021-02-04
公开(公告)号：
CN113262951A
公开(公告)日：
2021-08-17
发明(设计)人：
上野幸一
申请人：
申请人地址：
日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1
IPC主分类号：
B05C1302
IPC分类号：
B05C502
H01L21683
H01L2167
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
杨贝贝;臧建明
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-11-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B05C 13/02 申请日:20210204 |
| 2021-08-17 | 公开 | 公开 |