一种MoTiNi靶材及其制备方法与应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411593494.9

申请日：

2024-11-08

公开(公告)号：

CN119530583A

公开(公告)日：

2025-02-28

发明(设计)人：

姚力军黄洁文周友平吴东青

申请人：

宁波江丰电子材料股份有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

C22C1/04

IPC分类号：

B22F3/04 B22F3/15 C22C27/04 C23C14/34

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

徐浩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C22C 1/04申请日:20241108
2025-02-28	公开	公开

共 50 条

[21]

一种钽钛合金靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

杨慧珍 .

中国专利 :CN114029484A ,2022-02-11

[22]

一种钛硅合金靶材及其制造方法 [P].

张凤戈 ;

李建奎 ;

魏铁峰 ;

张欠男 ;

缪磊 ;

张学华 ;

岳万祥 .

中国专利 :CN111136265B ,2020-05-12

[23]

一种铜镍钛合金靶材及其制备方法与应用 [P].

何建进 .

中国专利 :CN117778783A ,2024-03-29

[24]

一种钛铝合金靶材及其制备方法和应用 [P].

宛晗 ;

马国成 ;

王小兰 ;

高建成 .

中国专利 :CN119549723A ,2025-03-04

[25]

一种铝合金靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

江胜君 .

中国专利 :CN113564544A ,2021-10-29

[26]

一种铝硅合金溅射靶材及其制备方法与应用 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

邹浪 .

中国专利 :CN112899624A ,2021-06-04

[27]

一种平面靶材用水路背板及其制备方法和应用 [P].

朱伟 .

中国专利 :CN121104128A ,2025-12-12

[28]

一种BaBiO<sub>3</sub>陶瓷靶材及其制备方法与应用 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

孙慧芳 ;

吴东青 .

中国专利 :CN116969755B ,2025-03-25

[29]

一种钽硅合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

马国成 .

中国专利 :CN110952064A ,2020-04-03

[30]

铌旋转靶材及其制备方法 [P].

杨永杰 ;

秦颖楠 ;

朱永超 ;

陆海涛 ;

尹志锋 .

中国专利 :CN121178853A ,2025-12-23

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