基于FBAR传感器的薄膜厚度量测系统及量测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311086041.2

申请日：

2023-08-25

公开(公告)号：

CN119517765A

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

请求不公布姓名

申请人：

青岛澳柯玛云联信息技术有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太行山路2号

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

G01B17/02

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

贺妮妮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20230825
2025-02-25	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜厚度的量测方法及其量测系统 [P].

张航 ;

庄源 .

中国专利 :CN119890065A ,2025-04-25

[2]

电路板的厚度量测方法及厚度量测系统 [P].

郭进顺 ;

张家齐 ;

林彦伶 .

中国专利 :CN112985276A ,2021-06-18

[3]

双雷射非接触式厚度量测系统及量测方法 [P].

江峰庆 ;

卓家轩 ;

方景亮 ;

赖焕桀 .

中国专利 :CN101634547B ,2010-01-27

[4]

轮廓精度量测系统及量测方法 [P].

曾郁升 ;

吴柏勋 ;

杨宗育 ;

李建毅 .

中国专利 :CN111823057B ,2020-10-27

[5]

镜头长度量测系统及量测方法 [P].

蔡坤荣 .

中国专利 :CN101576707A ,2009-11-11

[6]

用于位置量测的量测传感器 [P].

塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩 ;

S·R·胡伊斯曼 ;

S·G·J·马西森 ;

H·P·M·派勒曼斯 .

:CN112740109B ,2024-04-30

[7]

用于位置量测的量测传感器 [P].

塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩 ;

S·R·胡伊斯曼 ;

S·G·J·马西森 ;

H·P·M·派勒曼斯 .

:CN118330995A ,2024-07-12

[8]

用于位置量测的量测传感器 [P].

塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩 ;

S·R·胡伊斯曼 ;

S·G·J·马西森 ;

H·P·M·派勒曼斯 .

中国专利 :CN112740109A ,2021-04-30

[9]

导热膏厚度的量测方法、量测系统与量测模块 [P].

林哲熙 ;

罗登男 .

中国专利 :CN101063606A ,2007-10-31

[10]

基于手机传感器的日照量测方法 [P].

林冰仙 ;

姚奕杰 ;

周良辰 ;

闾国年 .

中国专利 :CN109668629B ,2019-04-23

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