セラミックスサセプタ及び静電チャックの製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20230128701

申请日：

2023-08-07

公开(公告)号：

JP2025024529A

公开(公告)日：

2025-02-20

发明(设计)人：

ITO TATSUYA HAYAKAWA KEISUKE

申请人：

NGK SPARK PLUG CO

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

静電チャックプロセス[ja] [P].

日本专利 :JP2022529609A ,2022-06-23

[2]

酸化物セラミックスの製造方法、酸化物セラミックス、及びセラミック電子部品[ja] [P].

日本专利 :JP6150061B2 ,2017-06-21

[3]

セラミック粉末、及びセラミック粉末の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007119653A1 ,2009-08-27

[4]

セラミック電子部品及びセラミック電子部品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2017187848A1 ,2019-02-21

[5]

セラミック電子部品の製造方法及びセラミック電子部品[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018220901A1 ,2019-11-07

[6]

セラミック電子部品、及びセラミック電子部品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2005098879A1 ,2008-03-06

[7]

セラミックスの製造方法[ja] [P].

MORI HARUKI ;

MATSUMURA YUJI ;

ITO TAKESHI ;

SHIMOYAMA TOMOTAKA .

日本专利 :JP2024008439A ,2024-01-19

[8]

セラミックス繊維の製造方法及びセラミックス繊維製造用のセラミックス原料組成液[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014076775A1 ,2016-09-08

[9]

セラミックス繊維の製造方法及びセラミックス繊維製造用のセラミックス原料組成液[ja] [P].

日本专利 :JPWO2012153806A1 ,2014-07-31

[10]

着色セラミック真空チャックおよびその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010095719A1 ,2012-08-30

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