着色セラミック真空チャックおよびその製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20110500662

申请日：

2010-02-19

公开(公告)号：

JPWO2010095719A1

公开(公告)日：

2012-08-30

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

G03F7/20 H01L21/027

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日

法律状态

法律状态信息

共 50 条

[1]

セラミックおよびその調製方法[ja] [P].

日本专利 :JP2018505829A ,2018-03-01

[2]

ガラスセラミックおよびその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022538415A ,2022-09-02

[3]

セラミック粉末、及びセラミック粉末の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007119653A1 ,2009-08-27

[4]

ガラスセラミック基板およびその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2012132762A1 ,2014-07-28

[5]

セラミック配線基板およびセラミック配線基板の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016167355A1 ,2017-04-27

[6]

セラミック電子部品およびセラミック電子部品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2017163931A1 ,2019-03-07

[7]

セラミックスサセプタ及び静電チャックの製造方法[ja] [P].

ITO TATSUYA ;

HAYAKAWA KEISUKE .

日本专利 :JP2025024529A ,2025-02-20

[8]

セラミック体の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010073456A1 ,2012-05-31

[9]

セラミックスの製造方法[ja] [P].

MORI HARUKI ;

MATSUMURA YUJI ;

ITO TAKESHI ;

SHIMOYAMA TOMOTAKA .

日本专利 :JP2024008439A ,2024-01-19

[10]

セラミックス摺動部材、およびその製造方法[ja] [P].

OSHIUMI TARO ;

TAKEUCHI AKIFUMI ;

NOKAWA GENYA ;

OSADA TOSHIRO ;

GOTO MASAHIRO ;

HARA TORU .

日本专利 :JP2024157687A ,2024-11-08

← 1 2 3 4 5 →