氢等离子体分解

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380051152.1

申请日：

2023-05-19

公开(公告)号：

CN119604645A

公开(公告)日：

2025-03-11

发明(设计)人：

戴维·爱德华·迪根唐怡然尼尔·爱德华·塞思·查曼彼得·迈克尔·基利-洛佩斯

申请人：

英商泰创尼克斯科技有限公司

申请人地址：

英国威尔特郡

IPC主分类号：

C25B1/04

IPC分类号：

B01J19/08 C01B3/04 C25B9/30 C25B9/60 C25B9/67 C25B15/021 C25B15/027 C25B15/04 C25B15/08 H05H1/34

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

陈知宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-11	公开	公开
2025-03-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C25B 1/04申请日:20230519

共 50 条

[1]

等离子体蚀刻方法、等离子体蚀刻装置、等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

森口尚树 .

中国专利 :CN105103274A ,2015-11-25

[2]

等离子体处理设备 [P].

松本直树 ;

吉川润 ;

佐佐木胜 ;

加藤和行 ;

四方政史 ;

高桥慎伍 .

中国专利 :CN101505574A ,2009-08-12

[3]

等离子体监测方法、等离子体监测装置和等离子体处理装置 [P].

松本直树 ;

山泽阳平 ;

輿水地盐 ;

松土龙夫 ;

濑川澄江 .

中国专利 :CN100520382C ,2004-10-27

[4]

等离子体处理装置、狭缝天线和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 .

中国专利 :CN1849034A ,2006-10-18

[5]

通用氢等离子体汽化器 [P].

伯特·索科洛夫 .

中国专利 :CN102128109A ,2011-07-20

[6]

氢等离子体熔融还原炼铁系统 [P].

朱兴营 ;

陈峰 ;

周法 ;

陈连忠 ;

王庆 .

中国专利 :CN206014996U ,2017-03-15

[7]

用于形成逻辑器件的氢等离子体处理 [P].

杨宗翰 ;

刘震 ;

高勇谦 ;

迈克尔·S·杰克逊 ;

王荣钧 .

美国专利 :CN118610087A ,2024-09-06

[8]

利用氢等离子体处理的钨间隙填充 [P].

杨宗翰 ;

岳诗雨 ;

汪荣军 .

美国专利 :CN119790495A ,2025-04-08

[9]

远程等离子体源和具有所述远程等离子体源的等离子体处理腔室 [P].

杨扬 ;

K·拉马斯瓦米 ;

F·斯李维亚 ;

I·尤瑟夫 .

美国专利 :CN121153099A ,2025-12-16

[10]

等离子体处理装置、等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 .

中国专利 :CN101908460A ,2010-12-08

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