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晶圆清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410338015.2
申请日：
2024-03-22
公开(公告)号：
CN118315261B
公开(公告)日：
2025-03-21
发明(设计)人：
彭海鸥
胡吉繁
赵伟
申请人：
珠海市板明科技有限公司
申请人地址：
519000 广东省珠海市高栏港经济区永新路10号二期厂房
IPC主分类号：
H01L21/02
IPC分类号：
B24B37/34
代理机构：
深圳中细软知识产权代理有限公司 44528
代理人：
徐春祺
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江西省
吉安市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20240322 |
| 2025-03-21 | 授权 | 授权 |
| 2024-07-09 | 公开 | 公开 |