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一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法、设备及存储介质

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510156576.5
申请日：
2025-02-13
公开(公告)号：
CN119624961A
公开(公告)日：
2025-03-14
发明(设计)人：
陈海龙 陈加豪 袁洪
申请人：
杭州光研科技有限公司
申请人地址：
311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设二路858号集成电路设计产业园B幢103室
IPC主分类号：
G06T7/00
IPC分类号：
G06V10/764 G06T7/136
代理机构：
深圳鼎丞佰瑞知识产权代理有限公司 441149
代理人：
王剑伟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-14 公开 公开
2025-04-01 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20250213
2025-04-15 授权 授权
共 50 条
[41]
检测晶圆表面缺陷的方法、装置及介质 [P]. 
柯希恒 ;
马强强 ;
林可 ;
李康康 .
中国专利 :CN117368221A ,2024-01-09
[42]
一种晶圆表面缺陷的检测系统及检测方法 [P]. 
郭智勇 ;
方春钰 ;
蒋健君 .
中国专利 :CN121049259A ,2025-12-02
[43]
一种基于机器视觉的瓷砖表面检测方法、设备及介质 [P]. 
李云川 ;
陈家荣 .
中国专利 :CN118691542A ,2024-09-24
[44]
一种基于机器视觉的船板表面缺陷检测方法 [P]. 
王芳 ;
高峰 .
中国专利 :CN107993219A ,2018-05-04
[45]
一种用于晶圆缺陷分类的机器视觉方法、设备及存储介质 [P]. 
张元 ;
张成果 ;
陈斌 ;
刘劼 .
中国专利 :CN117746102A ,2024-03-22
[46]
一种基于机器视觉的表面缺陷检测设备 [P]. 
马信 .
中国专利 :CN111665256A ,2020-09-15
[47]
基于机器视觉的缺陷快速检测方法及装置、设备、存储介质 [P]. 
高红霞 ;
李日红 ;
莫宜锦 ;
万燕英 .
中国专利 :CN115984246B ,2024-01-23
[48]
基于机器视觉的LED封装表面缺陷检测方法、装置、介质及设备 [P]. 
尹宏鹏 ;
柴毅 ;
李莉建 ;
汤鹏 ;
钟锦涛 ;
唐琪淋 .
中国专利 :CN114235837A ,2022-03-25
[49]
晶圆凸块表面缺陷的自相关检测方法、装置及存储介质 [P]. 
王孟哲 ;
梁正南 ;
赖勉力 ;
李恩全 ;
熊柏泰 .
中国专利 :CN117372360A ,2024-01-09
[50]
一种基于机器视觉的晶圆外观缺陷检测方法 [P]. 
王世锐 ;
陈志极 ;
黄杰鸿 ;
陈平平 .
中国专利 :CN116012292B ,2025-08-29
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