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一种基于机器视觉的晶圆表面缺陷检测方法、设备及存储介质

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510156576.5
申请日：
2025-02-13
公开(公告)号：
CN119624961A
公开(公告)日：
2025-03-14
发明(设计)人：
陈海龙 陈加豪 袁洪
申请人：
杭州光研科技有限公司
申请人地址：
311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设二路858号集成电路设计产业园B幢103室
IPC主分类号：
G06T7/00
IPC分类号：
G06V10/764 G06T7/136
代理机构：
深圳鼎丞佰瑞知识产权代理有限公司 441149
代理人：
王剑伟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-14 公开 公开
2025-04-01 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20250213
2025-04-15 授权 授权
共 50 条
[21]
基于视觉的固体药品表面缺陷检测方法、装置及存储介质 [P]. 
沈军玲 ;
佟桐 ;
张胜男 ;
王红平 ;
陈功 ;
王磊 ;
赵春迪 ;
臧子豪 .
中国专利 :CN119941735B ,2025-07-25
[22]
基于视觉的固体药品表面缺陷检测方法、装置及存储介质 [P]. 
沈军玲 ;
佟桐 ;
张胜男 ;
王红平 ;
陈功 ;
王磊 ;
赵春迪 ;
臧子豪 .
中国专利 :CN119941735A ,2025-05-06
[23]
IC晶圆表面缺陷检测方法 [P]. 
刘西锋 ;
胡玉薇 .
中国专利 :CN108648168A ,2018-10-12
[24]
一种基于视觉图像的晶圆表面缺陷分区域检测方法 [P]. 
喻志勇 ;
王进 ;
郑涛 ;
陆国栋 .
中国专利 :CN110286126B ,2019-09-27
[25]
晶圆外观缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 [P]. 
梅爽 ;
王祥铜 ;
华凯 ;
胡彦潮 .
中国专利 :CN120612315A ,2025-09-09
[26]
基于视觉检测缺陷的检测方法、装置、设备及存储介质 [P]. 
李长影 ;
王雷 .
中国专利 :CN119295369B ,2025-11-25
[27]
基于视觉检测缺陷的检测方法、装置、设备及存储介质 [P]. 
李长影 ;
王雷 .
中国专利 :CN119295369A ,2025-01-10
[28]
晶圆表面缺陷的检测方法、系统、计算机设备和存储介质 [P]. 
陈伟 ;
孙玲 .
中国专利 :CN114878590A ,2022-08-09
[29]
晶圆表面缺陷的检测方法、系统、计算机设备和存储介质 [P]. 
陈伟 ;
孙玲 .
中国专利 :CN114878590B ,2025-11-14
[30]
晶圆表面缺陷的检测方法、装置、计算机设备和存储介质 [P]. 
陈伟 ;
孙玲 .
中国专利 :CN114926413A ,2022-08-19
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