晶圆表面缺陷的检测方法、系统、计算机设备和存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210485737.1

申请日：

2022-05-06

公开(公告)号：

CN114878590B

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

陈伟孙玲

申请人：

长鑫存储技术有限公司

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01B11/24

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-14	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆表面缺陷的检测方法、系统、计算机设备和存储介质 [P].

陈伟 ;

孙玲 .

中国专利 :CN114878590A ,2022-08-09

[2]

晶圆表面缺陷的检测方法、装置、计算机设备和存储介质 [P].

陈伟 ;

孙玲 .

中国专利 :CN114926413A ,2022-08-19

[3]

表面缺陷检测方法及装置、计算机设备和存储介质 [P].

江志坚 ;

王劦 ;

吴小彬 .

中国专利 :CN117828352A ,2024-04-05

[4]

晶圆缺陷的检测方法、装置、计算机设备和存储介质 [P].

蔡刘根 ;

章军 .

中国专利 :CN120352431A ,2025-07-22

[5]

芯片表面缺陷检测方法、系统、计算机设备和存储介质 [P].

任获荣 ;

熊振锋 ;

李志武 ;

詹劲松 ;

吕银飞 ;

高雪峰 .

中国专利 :CN113554630A ,2021-10-26

[6]

PCB表面缺陷检测方法、装置、计算机设备和存储介质 [P].

李泉洲 ;

胡宁 ;

蒋诗新 ;

刘振国 ;

郑清文 .

中国专利 :CN117557538A ,2024-02-13

[7]

钢铁表面缺陷检测方法、装置、计算机设备和存储介质 [P].

李潭 ;

宋伟宁 ;

陈南江 ;

高方方 ;

吴守栾 ;

宋超 ;

王琪 ;

林燕文 ;

殷润民 .

中国专利 :CN120726028A ,2025-09-30

[8]

滚子表面缺陷检测方法、计算机设备和存储介质 [P].

马跃洋 ;

尹青青 ;

刘丙才 ;

朱学亮 ;

王红军 ;

田爱玲 .

中国专利 :CN119784709B ,2025-10-03

[9]

滚子表面缺陷检测方法、计算机设备和存储介质 [P].

马跃洋 ;

尹青青 ;

刘丙才 ;

朱学亮 ;

王红军 ;

田爱玲 .

中国专利 :CN119784709A ,2025-04-08

[10]

钢铁表面缺陷检测方法、装置、计算机设备和存储介质 [P].

李潭 ;

宋伟宁 ;

陈南江 ;

高方方 ;

吴守栾 ;

宋超 ;

王琪 ;

林燕文 ;

殷润民 .

中国专利 :CN120726028B ,2025-10-31

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