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检测装置及检测方法、半导体工艺腔室
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311243969.7
申请日：
2023-09-25
公开(公告)号：
CN119694911A
公开(公告)日：
2025-03-25
发明(设计)人：
张亚萍
付省辉
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
H01L21/67
H01J37/244
H01J37/32
代理机构：
北京布瑞知识产权代理有限公司 11505
代理人：
高英英
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-25 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20230925 |