基于二次谐波增强的氮化镓器件富镓缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411803123.9

申请日：

2024-12-10

公开(公告)号：

CN119290848B

公开(公告)日：

2025-03-07

发明(设计)人：

刘铎杨伟远何玉征

申请人：

山东大学

申请人地址：

250100 山东省济南市历城区山大南路27号

IPC主分类号：

G01N21/65

IPC分类号：

G01N21/01 G01N1/34

代理机构：

济南金迪知识产权代理有限公司 37219

代理人：

孙倩文

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-07	授权	授权
2025-01-10	公开	公开
2025-01-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/65申请日:20241210

共 50 条

[1]

基于二次谐波增强的氮化镓器件富镓缺陷检测方法 [P].

刘铎 ;

杨伟远 ;

何玉征 .

中国专利 :CN119290848A ,2025-01-10

[2]

氮化镓器件和氮化镓器件的制备方法 [P].

房育涛 ;

胡浩林 ;

蔡子东 ;

高园 .

中国专利 :CN120358782B ,2025-09-19

[3]

氮化镓器件和氮化镓器件的制备方法 [P].

房育涛 ;

胡浩林 ;

蔡子东 ;

高园 .

中国专利 :CN120358782A ,2025-07-22

[4]

基于深度学习的氮化镓射频器件缺陷检测方法及系统 [P].

刘洋洲 .

中国专利 :CN120707528A ,2025-09-26

[5]

富镓氮化镓薄膜的制造方法 [P].

K·S·A·巴彻 ;

T·L·坦斯利 ;

阿菲富丁 .

中国专利 :CN1662448B ,2005-08-31

[6]

一种氮化镓器件的加工方法和氮化镓器件 [P].

陈建国 ;

张枫 ;

刘蓬 ;

谢春诚 .

中国专利 :CN104143592A ,2014-11-12

[7]

一种氮化镓器件及氮化镓器件的封装方法 [P].

李孟 ;

罗广豪 ;

李幸辉 .

中国专利 :CN109935561A ,2019-06-25

[8]

一种氮化镓器件的制备方法及氮化镓器件 [P].

郭芬 ;

苏康 ;

李拓 .

中国专利 :CN114023645A ,2022-02-08

[9]

一种氮化镓器件及氮化镓器件的封装方法 [P].

李伟 ;

高苗苗 .

中国专利 :CN114883279A ,2022-08-09

[10]

一种氮化镓器件及氮化镓器件的封装方法 [P].

李孟 ;

李幸辉 ;

罗广豪 .

中国专利 :CN111192860A ,2020-05-22

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