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一种半导体加工用清洗设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411753009.X
申请日：
2024-12-02
公开(公告)号：
CN119634286A
公开(公告)日：
2025-03-18
发明(设计)人：
朱春雷
申请人：
苏州格拉尼视觉科技有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区裕新路168号脉山龙大厦1号楼107B室
IPC主分类号：
B08B1/12
IPC分类号：
H01L21/67
B08B1/14
B08B1/20
B08B1/32
B08B1/40
B08B3/02
B08B3/12
B08B3/14
B08B13/00
代理机构：
苏州三英知识产权代理有限公司 32412
代理人：
潘时伟
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-18 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B08B 1/12申请日:20241202 |