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一种半导体加工用旋转式清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422334319.X
申请日：
2024-09-25
公开(公告)号：
CN223300529U
公开(公告)日：
2025-09-05
发明(设计)人：
王玉玲
姚艺晗
贾子锐
申请人：
盐城迪卡尔电子技术有限公司
申请人地址：
224000 江苏省盐城市盐都区高新技术产业开发区秦川路与盐渎路交叉口（总部研发区E2栋）
IPC主分类号：
B08B3/02
IPC分类号：
B08B13/00
代理机构：
南通市集优专利代理事务所(普通合伙) 32651
代理人：
陈炎
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-05 | 授权 | 授权 |