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一种晶圆升降装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411592066.4
申请日：
2024-11-08
公开(公告)号：
CN119581399A
公开(公告)日：
2025-03-07
发明(设计)人：
李刚
童建
周兴江
吴鹏涛
申请人：
江苏亚电科技股份有限公司
申请人地址：
225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/677
代理机构：
北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317
代理人：
陈平
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20241108 |
| 2025-03-07 | 公开 | 公开 |