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一种晶圆升降装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820471554.3
申请日：
2018-04-03
公开(公告)号：
CN207966941U
公开(公告)日：
2018-10-12
发明(设计)人：
薛荣华 阚保国 刘家桦 叶日铨
申请人：
申请人地址：
223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
余明伟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-10-12 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆升降装置 [P]. 
翁林 .
中国专利 :CN209658152U ,2019-11-19
[2]
一种晶圆升降装置 [P]. 
肖凤德 ;
王妍智 .
中国专利 :CN221149981U ,2024-06-14
[3]
一种晶圆升降装置 [P]. 
李刚 ;
童建 ;
周兴江 ;
吴鹏涛 ;
沈文镇 .
中国专利 :CN223552517U ,2025-11-14
[4]
一种晶圆升降装置 [P]. 
郭继伟 ;
王妍智 .
中国专利 :CN221149980U ,2024-06-14
[5]
晶圆升降装置 [P]. 
曹伟刚 ;
田华 .
中国专利 :CN203536401U ,2014-04-09
[6]
一种晶圆弹夹升降装置 [P]. 
洪汉辉 ;
王晨光 ;
张岩 .
中国专利 :CN220604637U ,2024-03-15
[7]
一种晶圆切割升降装置 [P]. 
朱良辰 .
中国专利 :CN223419811U ,2025-10-10
[8]
晶圆升降装置及晶圆传送系统 [P]. 
张军 ;
沈超 .
中国专利 :CN214012925U ,2021-08-20
[9]
一种承载晶圆的升降装置 [P]. 
汪新学 ;
陶智昆 .
中国专利 :CN211578720U ,2020-09-25
[10]
一种晶圆升降装置 [P]. 
李刚 ;
童建 ;
周兴江 ;
吴鹏涛 .
中国专利 :CN119581399A ,2025-03-07
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