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一种晶圆压环结构和晶圆沉积装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411791133.5
申请日：
2024-12-06
公开(公告)号：
CN119694973A
公开(公告)日：
2025-03-25
发明(设计)人：
李辉
张添水
申请人：
珠海格力电子元器件有限公司
珠海格力电器股份有限公司
申请人地址：
519085 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层428室（集中办公区）
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
代理机构：
广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438
代理人：
梁发华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
广东省
珠海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20241206 |
| 2025-03-25 | 公开 | 公开 |