晶圆薄膜沉积装置

被引：0

申请号：

CN202111629896.6

申请日：

2021-12-28

公开(公告)号：

CN114318305A

公开(公告)日：

2022-04-12

发明(设计)人：

张艳喆刘健李培培戚艳丽

申请人：

申请人地址：

110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号

IPC主分类号：

C23C1650

IPC分类号：

C23C1646 C23C1634 C23C1640 C23C1652

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/50 申请日:20211228
2022-04-12	公开	公开

共 50 条

[1]

在晶圆片上沉积薄膜的装置 [P].

林弘周 ;

李相奎 ;

徐泰旭 ;

张镐承 .

中国专利 :CN1769516A ,2006-05-10

[2]

晶圆薄膜沉积制备系统 [P].

邵志锋 ;

李辉 .

中国专利 :CN223660200U ,2025-12-12

[3]

一种晶圆薄膜沉积治具及晶圆薄膜沉积设备 [P].

白喜青 ;

颜吉祥 .

中国专利 :CN220999827U ,2024-05-24

[4]

晶圆支撑装置及薄膜沉积设备 [P].

张启辉 ;

吴凤丽 ;

杨华龙 ;

赵坤 ;

高鹏飞 ;

朱晓亮 ;

杨天奇 ;

卜夺夺 .

中国专利 :CN223118548U ,2025-07-18

[5]

沉积薄膜制程中的晶圆承载装置 [P].

陈汉阳 .

中国专利 :CN201236206Y ,2009-05-13

[6]

晶圆承载盘及应用晶圆承载盘的薄膜沉积装置 [P].

林俊成 ;

王俊富 .

中国专利 :CN114959654B ,2024-01-09

[7]

晶圆承载盘及应用晶圆承载盘的薄膜沉积装置 [P].

林俊成 ;

王俊富 .

中国专利 :CN215481237U ,2022-01-11

[8]

一种用于晶圆薄膜沉积的炉管 [P].

杨晓燕 ;

林晓涵 ;

李小乐 ;

娄培阳 .

中国专利 :CN223033447U ,2025-06-27

[9]

晶圆沉积覆盖环 [P].

陈登葵 .

中国专利 :CN207738840U ,2018-08-17

[10]

用于在晶圆沉积薄膜的设备 [P].

陈泳 .

中国专利 :CN110246788A ,2019-09-17

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